巻子本で無文の茶地に雲母を引いた原表紙、および八双をのこし、後補の朱塗り撥形軸が付される。料紙には楮交じりの斐紙が用いられ、墨界を施し、紙高29・1㎝、界高23・2㎝、界幅1・9㎝を測り、1行17字ないし19字詰に記す。1紙28行、1紙長52・3㎝、本紙15紙を継ぎ、巻首の下部に「石山寺」の黒印が捺される。外題に室町時代の筆になる「大唐大辯正廣智三藏表答集卷第五」、内題には「代宗朝贈司空第辯正廣智三藏和上表制集卷第五」とあり、その直後に「上都長安西明寺沙門釋圓照集」と記すほか、尾題には「大辯正廣智三藏表制集卷第五」とある。
『不空三蔵表制集』六巻は、唐長安の大興善寺の沙門不空三蔵（705〜774）に関する公文書を、西明寺の沙門円照が、不空三蔵の歿後、貞元年間（785〜805）の初めころに編纂した重要資料で、我が国には弘法大師空海によって請来されたと考えられている。中国ではすでに散逸したものの、本邦には青蓮院本はじめ、高山寺新旧二本など、数種の古写本が伝存し、その最古の写本と見られるものが石山寺本である。現在、卷第一が東京国立博物館に、卷第二・第四の二巻が個人、卷第三が石山寺、卷第六が五島美術館に、それぞれ所蔵されていて、いずれも重要文化財に指定されている。「石山寺」印を捺すことから、もと石山寺にあったものが巷間に出たとみられ、本館に近時収蔵の卷第五は、明らかにこれと一具をなすもので、本館本を含めて最古の写本の全巻が揃ったことになり、貴重である。